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  <blog_title>fltech - 富士通研究所の技術ブログ</blog_title>
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    <anon>AI</anon>
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  <description>こんにちは、富士通研究所 マテリアルズインフォマティクスプロジェクトの山﨑です。我々のプロジェクトでは、その名の通りMaterials Informatics (MI) の研究開発を行い、材料技術に関するお客様の課題を解決することを目的として活動しております。 今回のMaterials Informatics特集では、私たちが開発している分子動力学シミュレーション向けニューラルネットワーク力場を作成するツールGeNNIP4MD [1]の「知識蒸留」という新機能を活用し、半導体製造の重要プロセスである半導体表面のシリコン酸化膜（シリカ, SiO2）をフッ酸によりウェットエッチングする過程を、固液…</description>
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  <published>2025-09-26 09:00:00</published>
  <title>Materials Informatics特集 #13：【事例紹介】GeNNIP4MDによるシリカ-フッ酸 固液界面のウェットエッチング</title>
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