miyubinamakemono https://blog.hatena.ne.jp/miyubinamakemono/ Shoulders of Giants(マテリアルとデバイスの周辺) https://miyubinamakemono.hatenadiary.org/ IGZO 久々。日本企業発、プレスリリースレベルで酸化物半導体絡みの嬉しい話題。 東芝：ニュースリリース (2010-12-01)：世界最高レベルの駆動信頼性を有する酸化物半導体ＴＦＴの開発について 酸化物半導体ＴＦＴの駆動信頼性と膜中の水素の動きに相関関係があることを見出し、酸化物半導体の成膜条件およびアニール温度を最適化するとともに、絶縁膜中の水素濃度を制御してガラス基板上に３２０℃で酸化物半導体ＴＦＴを形成しました。このように作製したＴＦＴの駆動信頼性を評価した結果、アモルファスシリコンの１００倍で、高性能な多結晶シリコンとほぼ同等の信頼性を実現しました。なお、チャネル材料にアモルファスＩＧＺＯ（… 190 <iframe src="https://hatenablog-parts.com/embed?url=https%3A%2F%2Fmiyubinamakemono.hatenadiary.org%2Fentry%2F20101212%2F1292110309" title="東芝が世界最高レベルの駆動信頼性酸化物半導体ＴＦＴ開発 - Shoulders of Giants(マテリアルとデバイスの周辺)" class="embed-card embed-blogcard" scrolling="no" frameborder="0" style="display: block; width: 100%; height: 190px; max-width: 500px; margin: 10px 0px;"></iframe> Hatena Blog https://hatena.blog 2010-12-12 08:31:49 rich https://miyubinamakemono.hatenadiary.org/entry/20101212/1292110309 1.0 100%