tomonari0423 https://blog.hatena.ne.jp/tomonari0423/ 技術者・研究者向けセミナー https://tomonari0423.hatenadiary.org/ これからエッチングを始めようとする人、始めて２〜３年でエッチングプラズマを理解したい人向けに、現在問題となっている、ArFレジストのLER、LWRおよびporous Low-kエッチングについてどう対処するかについて 一つの提案を行う！ ドライエッチングの基礎と密度・速度・圧力の最適化および応用技術≪２名同時申込の場合、２人目は半額で受講できます≫ 主催：Ｒ＆Ｄ支援センター日時：平成22年5月24日（月） 10：30〜16：30≪講座趣旨≫ これからエッチングを始めようとする人、始めて２〜３年でエッチングプラズマを理解したい人向けに基礎的な理解を深める講義を行う。 また、現在問題となっている、… 190 <iframe src="https://hatenablog-parts.com/embed?url=https%3A%2F%2Ftomonari0423.hatenadiary.org%2Fentry%2F20100413" title="ドライエッチングの基礎と密度・速度・圧力の最適化および応用技術 - 技術者・研究者向けセミナー" class="embed-card embed-blogcard" scrolling="no" frameborder="0" style="display: block; width: 100%; height: 190px; max-width: 500px; margin: 10px 0px;"></iframe> Hatena Blog https://hatena.blog 2010-04-13 00:00:00 rich https://tomonari0423.hatenadiary.org/entry/20100413 1.0 100%