YHResearch https://blog.hatena.ne.jp/YHResearch/ yhrnews’s diary https://yhrnews.hatenadiary.com/ HF気相エッチング装置世界総市場規模高精度エッチング技術の進化：HF気相エッチング装置HF気相エッチング装置は、半導体およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）分野における重要な基盤装置である。水溶液を用いた従来の湿式エッチングとは異なり、気相中のフッ化水素（HF）を利用して二酸化ケイ素（SiO₂）などを等方的に除去することが可能であり、液体残渣や毛細管力の影響を受けない。この特性は、微細構造の変形や損傷を最小化し、高精度な形状制御を要求されるプロセスにおいて極めて重要な意味を持つ。特に高周波励起を用いたHF気相エッチング装置は、プラズマの安定性と反応性を高め、エッチング速度と均一… 190 <iframe src="https://hatenablog-parts.com/embed?url=https%3A%2F%2Fyhrnews.hatenadiary.com%2Fentry%2F2025%2F10%2F24%2F180119" title="HF気相エッチング装置の世界市場レポート：2031年には210百万米ドルに達する見込み - yhrnews’s diary" class="embed-card embed-blogcard" scrolling="no" frameborder="0" style="display: block; width: 100%; height: 190px; max-width: 500px; margin: 10px 0px;"></iframe> https://pub-8f228730ceb04de0846c1c7f9b7b5299.r2.dev/images/zc5yBP2wfztvtkjJ.jpg Hatena Blog https://hatena.blog 2025-10-24 18:01:19 rich https://yhrnews.hatenadiary.com/entry/2025/10/24/180119 1.0 100%